一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的方法

摘要

本发明公开了一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的方法，是将半导体发光二极管（简称LED）在氨气和三甲基镓气相沉积成GaN，生产过程中排出氨气、氮气、氢气混合气体中少量的氨气，在用户现场用气体压缩机增压到1.0MPa～3.0MPa后，在零下50℃～80℃冷冻的情况下，将混合气中的有害气体氨气液化，将混合气中无害的氮气、氢气进入放空系统，液化的液氨再经过精馏塔提纯，从而将本来LED企业在生产过程中排放的含氨废气变废为宝，混合气中氨气的回收率可达到99%以上，回收的氨气纯度可达到99.99999%，符合LED气相沉积的质量要求。

主权项

一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的装置，它包括：增压风机、气体精密过滤器、气体压缩机、气体预冷器、氨气深冷器、气液分离器、深度冷冻机、液氨接受兼高位槽、精馏塔釜兼汽化器、精馏塔提纯塔、塔顶冷凝器、塔顶高位槽、金属管占子流量计、自动调节阀、工业液氨接受罐，其特征是所述增压风机连接气体精密过滤器，气体精密过滤器连接气体压缩机，气体压缩机连接气体预冷器上端，气体预冷器右侧连接液氨接受兼高位槽，气体预冷器左侧连接气液分离器，气体预冷器下端连接氨气深冷器，氨气深冷器下方连接气液分离器，氨气深冷器右侧连接深度冷冻机，所述的液氨接受兼高位槽底部设有金属管占子流量计Ⅰ，金属管占子流量计Ⅰ连接自动调节阀Ⅰ并与精馏塔釜兼汽化器连接；所述的精馏塔釜兼汽化器上端中间位置处设有精馏塔提纯塔，所述的精馏塔提纯塔顶部通过导管连接塔顶冷凝器，所述的塔顶冷凝器上方右侧位置处设有金属管占子流量计Ⅳ和自动调节阀Ⅳ，塔顶冷凝器下方设有塔顶高位槽，所述的精馏塔提纯塔顶端右侧位置处设有自动调节阀Ⅱ，自动调节阀Ⅱ通过金属管占子流量计Ⅱ连接塔顶高位槽底部；所述的塔顶高位槽右侧下方三分之一位置处设有工业液氨出料口，出料口与金属管占子流量计Ⅲ连接，金属管占子流量计Ⅲ连接自动调节阀Ⅲ并与两个工业液氨接受罐连接，所述的精馏塔釜兼汽化器底部设有工业液氨充装口，工业液氨接受罐底部设有工业液氨充装口连接充装泵，用于工业液氨成品钢瓶充装。