图像传感器、成像装置以及制造图像传感器的装置和方法

摘要

本发明提供了一种能够抑制噪声分量的发生的具有多个像素的图像传感器，每个像素包括用于接收入射光的光接收部，用于将入射光从光入射面导向所述光接收部的波导，和设置在所述光入射面和所述光接收部之间的用于遮住入射光的遮光部。所述遮光部具有在所述波导的光出射面附近形成的开口部。所述光接收部接收经过所述波导和所述开口部的入射光。所述波导的芯的宽度和所述开口部的宽度设定为使得所述宽度随着在像素上入射的光的波长变长而增大。本发明还提供了成像装置以及制造图像传感器的装置和方法。

主权项

一种具有多个像素的图像传感器，每个像素包括：用于接收入射光的光接收部；用于将入射光从光入射面导向所述光接收部的波导；和设置在所述光入射面和所述光接收部之间的用于遮住入射光的遮光部，其中所述遮光部具有在所述波导的光出射面附近形成的开口部，其中所述光接收部接收经过所述波导和所述开口部的入射光，和其中所述波导的芯的宽度和所述开口部的宽度设定为使得所述宽度随着在像素上入射的光的波长变长而增大。