发明名称 |
半导体器件、其制造方法及具有该器件的组件与系统 |
摘要 |
本发明公开一种半导体器件、其制造方法及具有该器件的组件与系统,半导体器件包括:接面区域,其形成于在半导体基板中形成的沟槽的两个侧壁的上部;第一栅电极,其埋入于沟槽中且具有台阶式上表面;以及第二栅电极,其形成于第一栅电极上而与接面区域重叠。 |
申请公布号 |
CN103681804A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201310196616.6 |
申请日期 |
2013.05.24 |
申请人 |
爱思开海力士有限公司 |
发明人 |
吴泰京;刘敏秀 |
分类号 |
H01L29/423(2006.01)I;H01L29/49(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L27/108(2006.01)I;G11C8/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/423(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
顾红霞;何胜勇 |
主权项 |
一种半导体器件,包括:半导体基板,其具有沟槽,所述沟槽具有第一侧壁及第二侧壁;接面区域,其设置于所述沟槽的第一侧壁的上部及第二侧壁的上部;第一栅电极,其具有埋入于所述沟槽中的台阶式上表面;以及第二栅电极,其设置于所述第一栅电极上而与所述接面区域重叠。 |
地址 |
韩国京畿道 |