发明名称 |
一种自动跳货检测系统 |
摘要 |
本发明提供了一种自动跳货检测系统,在任意一检测站点上对多个批次的产品进行检测,其特征在于,所述系统包括存储模块、采集模块、处理模块和执行模块;所述存储模块储存有各机台信息;所述采集模块用于对经过站点的每个批次的产品进行扫描并通过所述存储模块获取该产品对应的机台信息;所述处理模块根据该批次产品对应的机台来选择不同的抽样检测规则并通过所述执行模块对产品进行检测。本发明根据批次的不同以及经过生产机台的重要程度的差异来设定不同的抽检规则对各批次产品进行抽样检测,提高了检测精度和检测效率。 |
申请公布号 |
CN103681402A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201310630347.X |
申请日期 |
2013.11.29 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
何理;许向辉;郭贤权;陈超 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
竺路玲 |
主权项 |
一种自动跳货检测系统,其特征在于,该系统包括存储模块、采集模块、处理模块和执行模块;所述存储模块储存有机台信息;所述采集模块用于对进入到良率扫描站点的每个批次的产品进行扫描并通过所述存储模块获取该产品对应的机台缺陷状况信息;所述处理模块根据不同批次产品对应的机台的重要程度以及同型机台的不同条件来选择不同的抽样检测规则并通过所述执行模块对产品进行检测;根据批次的不同以及经过生产机台的重要程度的差异来设定不同的抽检规则对各批次产品进行抽样检测,提高了检测精度和检测效率。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |