一种直拉硅单晶的镓元素掺杂装置及其掺杂方法

摘要

本发明公开了一种直拉硅单晶的镓元素掺杂装置，包括具有底部掺杂孔的掺杂杯，所述掺杂杯上设有悬挂结构，悬挂结构上设有与提拉夹头相匹配的吊杆；所述掺杂杯的材质为熔点高于硅且不易与熔硅反应的材质；所述掺杂孔内填充有固化的熔硅。本发明还提供了使用上述掺杂装置的直拉硅单晶的镓元素掺杂方法，其中使用前用熔硅封住掺杂杯底部掺杂孔；使用时下降掺杂杯至液面下3～8mm，浸没掺杂孔，待封住掺杂孔的硅料熔化，镓元素将沿着掺杂孔流向熔硅。本发明镓元素掺杂装置能够实现多次重复使用，在实现掺杂后，充分利用熔硅特点和单晶炉内温度分布特点对掺杂杯进行封闭，可多次使用，具有成本低的优点。

主权项

一种直拉硅单晶的镓元素掺杂装置，其特征在于：包括具有底部掺杂孔（4）的掺杂杯（3），所述掺杂杯上设有悬挂结构，悬挂结构上设有与提拉夹头相匹配的吊杆（1）；所述掺杂杯（3）的材质为熔点高于硅且不易与熔硅反应的材质；所述掺杂孔内填充有固化的熔硅；所述掺杂杯底部为锥形，所述掺杂孔设于掺杂杯底部，所述掺杂杯顶部外圈设有凸缘，固定孔设于所述凸缘上，所述掺杂孔设有五个，其中一个掺杂孔设于掺杂杯底部锥形尖顶位置，另外四个掺杂孔在同一水平面上环绕锥形尖顶处掺杂孔均匀设置。