软性光罩曝光用装置

摘要

一种软性光罩曝光用装置，包括一本体、一升降机构、一基板载台及一光罩载台。该本体的内部形成一腔室。该升降机构设置于该本体的内部，该升降机构具有一动力装置。该基板载台连接于该动力装置，该基板载台用于放置基板。该光罩载台设置于该本体的顶部，该光罩载台设置有一透孔，该透孔用于放置软性光罩，通过负压或正压方式，使软性光罩下垂变形，以贴附于基板进行曝光操作。本实用新型可以提高操作的便利性，使得图型化基板的制作得以量产。

主权项

一种软性光罩曝光用装置，其特征在于，所述软性光罩曝光用装置包括：一本体，所述本体的内部形成一腔室；一升降机构，所述升降机构设置于所述本体的内部，所述升降机构具有一动力装置；一基板载台，所述基板载台连接于所述动力装置，所述基板载台用于放置基板；以及一光罩载台，所述光罩载台设置于所述本体的顶部，所述光罩载台设置有一透孔，所述透孔用于放置软性光罩，通过负压或正压的方式使所述软性光罩下垂变形，以贴附于所述基板进行曝光操作。