发明名称 |
压印存储器 |
摘要 |
高昂的数据掩膜版成本将极大地限制掩膜编程只读存储器(mask-ROM)的广泛应用。本发明提出一种压印存储器(imprintedmemory),尤其是三维压印存储器(three-dimensionalimprintedmemory,简称为3D-iP)。它采用采用压印法(imprint-lithography)来录入数据。压印法也称为纳米压印法(nano-imprintlithography,简称为NIL),其采用的数据模版(template)比光刻法采用的数据掩膜版成本价格更为低廉。 |
申请公布号 |
CN103681511A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201210319920.0 |
申请日期 |
2012.09.01 |
申请人 |
成都海存艾匹科技有限公司 |
发明人 |
张国飙 |
分类号 |
H01L21/8246(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;B82Y10/00(2011.01)I |
主分类号 |
H01L21/8246(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种制造压印存储器的方法,其特征在于包括如下步骤:1)形成一数据录入膜;2)通过压印法将数据图形从一数据模版转换到该数据录入膜中;3)形成多条与该数据录入膜耦合的地址线;其中,该数据图形代表存储于该存储器中的数据,且该数据图形具有纳米尺度,且不具有微米尺度周期性。 |
地址 |
610041 四川省成都市高新区永丰路6号B-36 |