一种棱杆真空泵

摘要

本发明公开了一种棱杆真空泵，属于变容式真空设备技术领域，其包括转子和泵壳，泵壳中设有“∞”型的泵腔，转子安装在泵腔中，其特征在于：转子分为轴线相互平行的主转子和副转子，主转子上设有周向均布的两个凸齿，凸齿的型面与主转子的轴线相平行，副转子上设有周向均布的三个凹槽，凹槽的型面与副转子的轴线相平行，凸齿与凹槽相啮合，主转子与副转子的转速比为3/2。此种棱杆真空泵能够依靠主转子和副转子的转动来改变泵腔的容积，实现输送气体的压缩，并且能够提高容积效率，使压缩比达到40%，同时每次排气的残余气体减少到10%。此外，在工作的过程中无废水废气产生。

主权项

一种棱杆真空泵，包括转子和泵壳，泵壳中设有“∞”型的泵腔，转子安装在泵腔中，其特征在于：转子分为轴线相互平行的主转子和副转子，主转子上设有周向均布的两个凸齿，凸齿的型面与主转子的轴线相平行，副转子上设有周向均布的三个凹槽，凹槽的型面与副转子的轴线相平行，凸齿与凹槽相啮合，主转子与副转子的转速比为3/2。