电子显微镜

摘要

本发明提供能够安装具有安全性（触电防止机构）且考虑操作性的高电压施加试样架。本发明的特征在于，具有：具有对装填试样的试样台施加电压的功能的试样架、供给要施加在上述试样台的电压的电压源、以及一端与上述试样架连接的电压电缆，并且，连接上述电压电缆的另一端的转接器设置于支撑电子显微镜的镜筒的台架上。

主权项

一种电子显微镜，具有电子光学镜筒和支撑该电子光学镜筒的台架，上述电子光学镜筒对试样照射一次电子射线，检测出通过照射该一次电子射线而得到的二次带电粒子并作为图像信号而输出，上述电子显微镜的特征在于，具有：具有放置上述试样的试样台，并具有对该试样台施加电压的功能的试样架；供给施加在上述试样台的电压的电压源；以及一端与上述试样架连接的电压电缆，而且，连接上述电压电缆的另一端的转接器设置于上述台架上。