具有寄生电容抵消的麦克风

摘要

公开了微机电麦克风及其制造方法。该麦克风具有可移动膜和固定的背板，其生成可变电容。电耦接到该膜的固定的锚具有电极，其测量所述可变电容，而且也测量不希望的加性的寄生电容。多种实施例包括参考电极，在与膜或锚相同的沉积层中制造，其仅仅测量所述寄生电容。在芯片上或芯片外提供电路，其从锚处测量的电容减去参考电极处测量的电容，从而仅产生期望的可变电容作为输出。由于参考电极与膜或锚同时沉积，因此对于现有制造技术仅仅需要最少的变化。

主权项

一种微机电麦克风，包括:膜，与锚可移动地耦接，所述锚被固定地耦接到基板；背板，通过电介质流体与所述膜分开，所述背板被通过电介质固体固定地耦接到所述锚，存在在所述背板和所述膜之间的第一电容以及在所述背板和所述锚之间的第二电容；传感器，用于测量所述背板和所述膜之间的电容，所测量的电容基本上等于所述第一电容和所述第二电容的和；参考电极，嵌入在所述电介质固体内，在所述参考电极和所述背板之间存在第三电容，所述第三电容基本上与所述第二电容相同；以及电路，其将通过所述传感器测量的电容减去所述第三电容，以产生输出电容，所述输出电容基本上与所述第一电容相同。