A CHEMICAL OXIDE REMOVAL(COR) PROCESSING SYSTEM AND METHOD
摘要
<p>본 발명에 따르면 화학적 산화물 제거(Chemical Oxide Removal; COR) 처리 시스템이 제공되는데, 이 COR 처리 시스템은 제1 처리 챔버 및 제2 처리 챔버를 포함한다. 제1 처리 챔버는 보호 배리어를 구비하는 온도 제어식 챔버를 제공하는 화학 처리 챔버를 포함한다. 제2 처리 챔버는 보호 배리어를 구비하는 온도 제어식 챔버를 제공하는 열처리 챔버를 포함한다.</p>
