发明名称 Perfectionnements aux procédés et appareils de fabrication de dispositifs à semiconducteurs et produits obtenus
摘要
申请公布号 FR1527325(A) 申请公布日期 1968.05.31
申请号 FR19670110188 申请日期 1967.06.13
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人
分类号 G02B27/44;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G02B27/44
代理机构 代理人
主权项
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