| 摘要 |
<p>본 발명은 디스펜서형 노즐장치에 관한 것으로서, 기판 상에 미세한 패터닝 작업이 가능하고, 소형화 및 슬림화가 가능하며, 제조원가를 절감할 수 있고, 수명단축 및 고장의 염려를 최소화시킬 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다. 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 상에 액상 물질을 공급하는 디스펜서형 노즐장치에 있어서, 액상 물질을 수용할 수 있는 내부챔버와, 내부챔버에 충전된 액상 물질을 기판 상에 토출하는 토출구를 구비하는 노즐바디와; 내부챔버에 충전된 액상 물질이 토출구로부터 압출될 수 있도록, 내부챔버를 압착하는 챔버압착수단을 구비한다.</p> |
