| 摘要 |
<p>본 발명은, 평가영역을 복수의 부시야로 분할하고, 1차 전자선을 부시야에 차례로 조사하며, 부시야마다 시료면의 정보를 포함한 2차 전자를 검출수단에 의하여 검출함으로써, 평가영역의 정보를 얻는 전자선장치에 있어서 프레임수/sec가 작은 영역센서를 사용하여도 고속의 화상취득을 가능하게 하는 것이다. 그 때문에 전자선장치의 검출수단(26)은, 영역센서(CCD1∼CCD14)와 영역센서의 검출면에 한쪽 끝이 결합된 광섬유속(25)과, 광섬유속의 다른쪽 끝에 도포되고, 부시야의 2차 전자선이 결상되는 신틸레이터가 형성된 FOP로 이루어지는 단위 검출기(24-1)를 복수 구비한다. 전자 편향기에 의하여, 전자선을 조사하는 부시야가 바뀔 때마다, 당해 부시야로부터의 2차 전자선을 편향하여, 단위 검출기의 FOP면 위를 이동시킨다. 각 단위 검출기로부터 다른 단위 검출기의 노광 중에 화상정보를 인출할 수 있기 때문에, 고속 화상 취득을 할 수 있다.</p> |
