| 摘要 |
<p>스테이지(2) 상에 수평 상태로 적재된 피처리 기판(1)과, 상기 기판(1)의 폭 방향으로 연장되는 슬릿 형상 토출 개구(11b)를 갖는 처리액 공급 노즐(11)을 상대적으로 이동시켜 처리액 공급 노즐(11)로부터 띠 형상으로 토출되는 처리액을, 기판(1)의 표면에 도포하도록 구성된다. 상기 처리액 공급 노즐(11)의 상대 이동 방향의 전방에 투광부(5)와 수광부(6)로 이루어지는 광투과형 센서 유닛이 탑재되어 있다. 상기 센서 유닛의 상대 이동 방향을 따라서 복수의 검사 에어리어가 설정되고, 이물질의 이동 방향의 이력을 따라서 센서 유닛에 의한 수광 데이터를 집계함으로써, 이물질에 대한 반응 감도를 향상시킨 광학식 이물질 검출 장치가 제공된다.</p> |
