发明名称 光罩资讯之取得方法、光罩之品质显示方法、显示装置之制造方法以及光罩制品
摘要
申请公布号 TWI431408 申请公布日期 2014.03.21
申请号 TW097126619 申请日期 2008.07.14
申请人 HOYA股份有限公司 日本 发明人 吉田光一郎;井村和久
分类号 G03F1/32;G01N21/956 主分类号 G03F1/32
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 日本