发明名称 薄膜之蒸镀方法
摘要
申请公布号 TWI431137 申请公布日期 2014.03.21
申请号 TW100121659 申请日期 2011.06.21
申请人 馗鼎奈米科技股份有限公司 台南市永康区亚太工业区中正路279巷21弄59号 发明人 徐逸明;陈彦政;黄世明;叶俊嘉
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 台南市永康区亚太工业区中正路279巷21弄59号