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经营范围
发明名称
微影用防尘薄膜组件
摘要
申请公布号
TWI431414
申请公布日期
2014.03.21
申请号
TW100110394
申请日期
2011.03.25
申请人
信越化学工业股份有限公司 日本
发明人
白崎享
分类号
G03F1/62
主分类号
G03F1/62
代理机构
代理人
周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼
主权项
地址
日本
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