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经营范围
发明名称
托盘，托盘支撑构件，及真空处理装置
摘要
申请公布号
TWI431718
申请公布日期
2014.03.21
申请号
TW099104444
申请日期
2010.02.11
申请人
佳能安内华股份有限公司 日本
发明人
广见太一;村上匡章
分类号
H01L21/683
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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