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经营范围
发明名称
成膜装置，成膜方法及记忆媒体
摘要
申请公布号
TWI431688
申请公布日期
2014.03.21
申请号
TW097110779
申请日期
2008.03.26
申请人
东京威力科创股份有限公司 日本
发明人
高木俊夫
分类号
H01L21/31;C23C16/455;H01L21/02
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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