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发明名称 氮化钽膜之形成方法及其成膜装置
摘要
申请公布号 TWI431146 申请公布日期 2014.03.21
申请号 TW098142067 申请日期 2009.12.09
申请人 爱发科股份有限公司 日本 发明人 山本晃子;牛川治宪;加藤伸幸;山田贵一
分类号 C23C16/34;C23C16/455;C23C16/52 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本
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