发明名称 保护胶带剥离方法及保护胶带剥离装置
摘要
申请公布号 TWI431680 申请公布日期 2014.03.21
申请号 TW099146152 申请日期 2010.12.27
申请人 三菱电机股份有限公司 日本 发明人 久我正一
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 日本