电浆处理装置及电浆处理方法,申请号TW099125919-传众专利搜索

发明名称	电浆处理装置及电浆处理方法
摘要
申请公布号	TWI431685	申请公布日期	2014.03.21
申请号	TW099125919	申请日期	2010.08.04
申请人	日立全球先端科技股份有限公司日本	发明人	白石大辅;鹿子嶋昭;井上智己;中元茂
分类号	H01L21/3065	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人	林志刚台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址	日本