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经营范围
发明名称
基板处理方法及基板处理系统
摘要
申请公布号
TWI431692
申请公布日期
2014.03.21
申请号
TW096138507
申请日期
2007.10.15
申请人
东京威力科创股份有限公司 日本
发明人
林大辅
分类号
H01L21/316;H01L21/3065;H01L21/67
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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