发明名称 METHOD FOR PRODUCING LITHIUM-BASED LAYER BY CVD
摘要 A method for forming by CVD a lithium-based layer, according to which the lithium precursor is in liquid form in a mixture containing a solvent and a Lewis base.
申请公布号 KR20140035311(A) 申请公布日期 2014.03.21
申请号 KR20137013777 申请日期 2011.12.08
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES;ANNEALSYS 发明人 JODIN LUCIE;ACHATZ PHILIPP;DECAMS JEAN MANUEL;DESCHANVRES JEAN LUC;JIMENEZ AREVALO MARIA DEL CARMEN;POULET SYLVAIN
分类号 C23C16/30;C23C16/448 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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