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Dispositif de capteur micromécanique à grille mobile comportant un transistor à effet de champ, avec une région de drain (3), une région de source (4) et dans l'intervalle une région de canal (7) avec un premier type de dopage et une grille mobile (1) séparée de la région de canal (7) par un intervalle (Z). La région de drain (3), la région de source (4) et la région de canal (7) sont dans un substrat (2), et le long des grands côtés (S1, S2) de la région de canal (7) le substrat (2) comporte une région d'oxyde (8). |
