发明名称 氧化铟系靶
摘要
申请公布号 TWI430956 申请公布日期 2014.03.21
申请号 TW097138074 申请日期 2008.10.03
申请人 三井金属鑛业股份有限公司 日本 发明人 高桥诚一郎;宫下德彦
分类号 C01G15/00;C01G19/00;C23C14/34 主分类号 C01G15/00
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址 日本