| 摘要 |
<p>(과제) 스크라이브시에 있어서의 「이빠짐」 「쪼개짐」 「교점 건너뜀」 등의 문제를 억제하는 취성 재료 기판의 스크라이브 방법을 제공한다. (해결 수단) 기판(W)에 커터 휠(6)로 종방향의 스크라이브 라인 그리고 횡방향의 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서, 기판(W)을 종방향으로 스크라이브함으로써, 2개의 종방향의 스크라이브 라인(S1, S2)에 의해 형성된 종방향 단위 제품열을, 단재(端材)가 되는 종(縱)의 좁은 간격(D1)을 두고 복수 형성하고, 이어서, 종방향 단위 제품열의 편측 변을 형성하는 종방향의 스크라이브 라인(S1)에서, 타방측 변을 형성하는 종방향 스크라이브 라인(S2)까지 횡방향으로 스크라이브함으로써, 단위 제품(W1)을 구분하는 횡방향의 스크라이브 라인(S3)을 순차 가공한다.</p> |
