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经营范围
发明名称
新颖之磺酸盐及其衍生物、光酸产生剂以及使用其之光阻材料及图型之形成方法
摘要
申请公布号
TWI430983
申请公布日期
2014.03.21
申请号
TW096123067
申请日期
2007.06.26
申请人
信越化学工业股份有限公司 日本
发明人
小林克浩;大泽洋一;金生刚;渡边武
分类号
C07C309/17;C07C381/12;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027
主分类号
C07C309/17
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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