摘要 |
1. Узел, содержащий опорную пластину (22) и фольгу (20) выходного окна для электронов, для использования в устройстве (10) генерирования электронного пучка, указанная опорная пластина (22) выполнена с возможностью уменьшения складок в указанной фольге (20), которые могут образоваться из-за избытка фольги, образующегося в процессе сборки, указанная фольга (20) скреплена с опорной пластиной (22) вдоль замкнутой линии (26) скрепления, ограничивающей область, в которой опорная пластина (22) содержит отверстия (32) и опорные части (34) для фольги и в которой фольга (20) выполнена с возможностью обеспечения функции стенки вакуум-плотного корпуса (14) устройства (10) генерирования электронного пучка, отличающийся тем, что опорная пластина (22), в указанной области, содержит структуру отверстий (32) и опорных частей (34) для фольги, расположенных чередующимся образом, причем указанная структура, когда в корпусе (14) создается вакуум, выполнена с возможностью формирования топографического профиля фольги (20), по существу поглощающего любой избыток фольги.2. Узел по п.1, отличающийся тем, что поглощение осуществляется таким образом, что по существу доминирующий изгиб фольги (20) создается в указанных отверстиях (32).3. Узел по п.2, отличающийся тем, что доминирующий изгиб создается вокруг оси, направленной по существу перпендикулярно линии (26) скрепления в плоскости опорной пластины (22).4. Узел по п.2, отличающийся тем, что область, ограниченная указанной линией (26) скрепления, разделена по меньшей мере на две секции (38, 40), каждая из которых содержит по меньшей мере одно отверстие (32), и что в каждой соответствующей секции (38, 40) доминирующий изгиб создается в одина� |