| 摘要 |
Способ осаждения наноразмерной пленки α-Al2O3 (0001) на металлические подложки в условиях сверхвысокого вакуума, включающий нагрев, испарение, осаждение молекул на металлическую подложку определенной ориентации, отличающийся тем, что испаряемый поток состоит из частиц AlO и (AlO)2 и после осаждения каждого последующего монослоя, систему подвергают экспозиции молекулярного кислорода при парциальном давлении 10мм. рт.ст. в течение 3 мин, при температуре подложки 700 C°. |
