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Eine elektronische Sensorvorrichtung (10) zum Detektieren von chemischen oder biologischen Spezies (12, 12’ 12’’), insbesondere Ionen, Moleküle, Proteine, RNA-Moleküle, DNA-Sequenzen, Antigene, Viren, Bakterien oder Zellen, umfasst mindestens einen aus einem Halbleitersubstrat (36) hergestellten Halbleiter-Chip (30), der für eine oder mehrere Funktionen ausgebildet ist, die ausgewählt sind aus einer Gruppe, die folgendes umfasst: Verstärken bzw. Auswerten einer elektrischen Spannung, Verstärken bzw. Auswerten eines elektrischen Stroms, Verstärken bzw. Auswerten einer elektrischen Ladung und Verstärken bzw. Auslesen von Kapazitätsänderungen, mindestens eine Sensorenrichtung (40, 40’) mit einer aktiven Sensoroberfläche (42), die dazu ausgebildet ist, chemische oder biologische Spezies (12, 12’, 12’’) zu detektieren und infolge einer für die Spezies charakteristischen Wechselwirkung mit der aktiven Sensoroberfläche (42) ein elektrisches Signal zu erzeugen, das aus einer Gruppe ausgewählt ist, die folgendes umfasst: eine elektrische Spannung, ein elektrischer Strom, eine elektrische Ladung und eine Kapazitätsänderung, und ein aus einem schmelzformbaren Material (26) hergestelltes Substrat (20) mit einer Substratoberfläche (22), die mindestens einen ersten Bereich und mindestens einen zweiten Bereich umfasst, wobei in dem mindestens einen ersten Bereich der mindestens eine Halbleiter-Chip (30) aufgebracht oder zumindest teilweise eingebettet ist und in dem mindestens einen zweiten Bereich die mindestens eine Sensoreinrichtung (40, 40’) aufgebracht oder zumindest teilweise eingebettet ist. Eine derartige elektronische Sensorvorrichtung (10) kann in einer mikrofluidischen Vorrichtung (100) zum Detektieren von der Vorrichtung (100) in einer Analytlösung zuführbaren chemischen oder biologischen Spezies (12, 12’, 12’’) eingebaut sein. Ein Verfahren zum Herstellen einer elektronischer Sensorvorrichtung (10) und ein Verfahren zum Herstellen einer mikrofluidischen Vorrichtung (100) werden ebenfalls offenbart. |
