| 摘要 |
<p>기판 스테이지(2)의 외주부에, 기판 스테이지의 상단의 기판 배치면(2a)보다 아래쪽으로 오프셋한 어깨부(2b)가 설치되고, 이 어깨부 상에, 기판 배치면과 어깨부 사이의 단부 주면(2c)을 둘러싸는 퍼지링(13)이 설치되고, 단부 주면과 퍼지링의 내주면 사이에 퍼지가스를 분출하는 환상의 가스 분출 통로(14)가 정의되는 퍼지가스 어셈블리에 있어서, 가스 분출 통로에서 그 전체 둘레에 걸쳐 균등하게 퍼지가스를 분출할 수 있음과 아울러, 퍼지링의 윗면에서의 막의 퇴적도 억제할 수 있도록 하고, 동시에, 구조를 간소화한다. 퍼지링(13)에 그 아래면에서 위쪽으로 오목하게 들어가는 환상홈(13a)이 형성되고, 이 환상홈(13a) 내의 분포실은 가스 분출 통로(14)에 대해 환상홈(13a)의 내주벽(13b)으로 분리됨과 아울러, 내주벽(13b)의 아래측에서 가스 분출 통로(14)에 연통한다. 그리고 퍼지가스가 분포실(15)을 개재하여 가스 분출 통로(14)에 공급된다.</p> |
