| 摘要 |
<p>본 발명의 제1 편광판 및 제2 편광판은 검사 대상 막을 사이에 두고 크로스 니콜 배치되어 있다. 광원은 제1 편광판을 통해 상기 막을 향해 광을 조사한다. 수광기는 상기 막 및 제2 편광판을 통해 투과된 광을 수광한다.θ1은 상기 수광기의 광축과, 상기 막의 표면에 수직한 법선 사이에 형성된 각을 나타내고,θ2는 상기 광축과, 상기 막의 지상축에 직교하는 기준선 사이에 형성된 회전각을 나타낼 때, 상기 수광기는 하기 조건: 15°≤θ1≤35°, 20°≤θ2≤60°을 만족시키도록 위치된다.</p> |
