发明名称 Package mit einem unter einem MEMS-Chip angeordneten CMOS-Chip
摘要 Ein Package wird bereitgestellt. Das Package hat ein Substrat und eine Abdeckung. Ein MEMS-Chip mit einer Membran wird bereitgestellt. Ein CMOS-Chip wird bereitgestellt, wobei wenigstens ein Teil des CMOS-Chips zwischen der Membran und dem Substrat angeordnet ist.
申请公布号 DE112010006098(T5) 申请公布日期 2014.03.20
申请号 DE20101106098T 申请日期 2010.12.28
申请人 KNOWLES ELECTRONICS, LLC 发明人 LOEPPERT, PETER V.;GIESECKE, DANIEL;NIEW, JEFFERY;GRUNERT, LAWRENCE;MINVERVINI, ANTHONY
分类号 H04R19/00;H01L23/02 主分类号 H04R19/00
代理机构 代理人
主权项
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