| 摘要 |
Чувствительный элемент микромеханического акселерометра, содержащий основание, инерционную массу, упругие элементы, выполненные зигзагообразными или в виде меандра, подвижные и неподвижные емкостные гребенчатые встречно-штырьевые преобразователи, отличающийся тем, что упругие элементы соединены одной стороной с инерционной массой, другой - с жесткими балками, которые соединены с площадкой крепления к основанию, расположенной в центре симметрии инерционной массы, сечение жестких балок выполнено в виде X-образного профиля или квадрата, площадь электродов неподвижных емкостных гребенчатых встречно-штырьевых преобразователей больше подвижных. |
