| 摘要 |
<p>Photodetektor, der folgende Merkmale aufweist: ein Substrat (10); eine isolierende Anordnung (516, 546; 616, 646; 716, 746; 816, 846; 817, 847), die in dem Substrat gebildet ist und eine eingegrenzte Region (526; 626; 726; 826; 926; 1426) des Substrats elektrisch isoliert, wobei die eingegrenzte Region dazu konfiguriert ist, ansprechend auf eine Einstrahlung freie Ladungsträger zu erzeugen, wobei die isolierende Anordnung (516, 546; 616, 646; 716, 746; 816, 846; 817, 847)–eine isolierende Schicht (40; 546) in dem Substrat (10), die im Wesentlichen parallel zu einer Hauptoberfläche (101) des Substrats ist und eine Mehrzahl von vergrabenen Kanälen aufweist, wobei jeder vergrabene Kanal durch ein Oxidmaterial abgegrenzt ist, und–eine Grabenanordnung, die sich von der Hauptoberfläche zumindest bis in eine Tiefe der isolierenden Schicht erstreckt, aufweist; eine Ausleseelektrodenanordnung, die zumindest zwei Elektroden aufweist, die mit unterschiedlichen Abschnitten der eingegrenzten Region in Kontakt gelangen, und dazu konfiguriert ist, einen Photostrom zu liefern, der durch zumindest einen Teil der freien Ladungsträger, die ansprechend auf die Einstrahlung erzeugt werden, gebildet wird; und eine Vorspannungselektrodenanordnung (1414), die mittels der isolierenden Anordnung bezüglich der eingegrenzten Region elektrisch isoliert ist, wobei die Vorspannungselektrodenanordnung dazu konfiguriert ist, elektrisch vorgespannt zu werden, was einen Einfluss auf eine Raumladungsträgerverteilung in der eingegrenzten Region bewirkt, so dass im Vergleich zu einem nicht vorgespannten Zustand an Grenzen der eingegrenzten Region weniger der freien Ladungsträger rekombinieren.</p> |
