| 摘要 |
<p>제 1 선형상부와 제 1 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 1 베이스부를 갖는 제 1 배선 패턴과, 제 2 선형상부와 제 2 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 2 베이스부를 갖음과 함께, 제 1 배선 패턴과 대향 위치에 배치되는 제 2 배선 패턴이 교대로 복수 형성된 기판을 검사하는 기판 검사 장치로서, 검사 대상의 배선 패턴에 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 인가되는 신호를 검출하는 신호 검출 수단과, 제 1 배선 패턴의 제 1 베이스부와 물리적으로 접촉하여 배치되는 제 1 전극부와, 제 2 배선 패턴의 제 2 베이스부와 물리적으로 접촉하여 배치되는 제 2 전극부와, 제 1 전극부와 제 2 전극부에 소정 주기를 갖는 기준 신호를 공급하는 급전 수단과, 신호 검출 수단의 검출 신호로부터, 기준 신호를 기초로 소정 위상의 위상 검파를 행하는 제 1 검파 수단과, 검출 신호로부터 기준 신호를 기초로 동기 검파를 행하는 제 2 검파 수단과, 제 1 검파 수단의 제 1 결과와 제 2 검파 수단의 제 2 결과로부터 배선 패턴의 도통 판정 및 단락 판정을 행하는 것을 특징으로 한다.</p> |
