| 摘要 |
1. Способ нанесение клетки Фарадея на прозрачный резонатор, причем резонатор содержит полость, содержащую возбуждаемый микроволнами материал, и адаптированную для возникновения микроволнового резонанса в резонаторе и внутри клетки Фарадея для возбуждения излучающей свет плазы в полости, причем способ предусматривает следующие стадии:• осаждение электропроводного материала на прозрачный резонатор;• нанесение, формирование скрытого изображения рисунка и проявление фоторезиста на электропроводном материале, чтобы оставить непокрытым электропроводный материал, где это необходимо;• удаление электропроводного материала, где он не нужен, и фоторезиста с необходимого электропроводного материала, сохраняя сетчатую решетку из электропроводного материала, обеспечивающую клетку Фарадея, и• нанесение слоя защитного материала на клетку из электропроводного материала.2. Способ по п. 1, где толщина нанесенного электропроводного материала в два раза превышает толщину скин-слоя микроволн, используемых для возбуждения возбуждаемого материала, и предпочтительно более чем в три раза превышает толщину скин-слоя.3. Способ по п. 1 или 2, где электропроводный материал осаждают в вакууме путем распыления или путем электронно-лучевого напыления.4. Способ по п. 1 или 2, где защитный материал осажден в вакууме путем распыления или путем электронно-лучевого напыления.5. Способ по п. 4, где электропроводным материалом является высокопроводящий металл, предпочтительно медь.6. Способ по п. 5, где защитный материал состоит из того же материала, что и резонатор, предпочтительно из кварца, т.е. диоксида кремния или монооксида кремния.7. С |
