DEVICE FOR GENERATING PLASMA HAVING A HIGH RANGE ALONG AN AXIS BY ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE (ECR) FROM A GASEOUS MEDIUM

摘要

Le dispositif comporte au moins deux guides d'onde coaxiaux (4) constitués chacun d'un conducteur central (1) et d'un conducteur extérieur (2) pour amener des micro-ondes dans une chambre de traitement, caractérisé en ce qu'au moins les deux guides d'injection d'ondes électromagnétique (4) sont combinés avec un circuit magnétique (21-22) allongé dans une direction, ledit circuit magnétique entourant les guides d'onde (4) en créant un champ magnétique apte à réaliser une condition de RCE à proximité desdits guides d'onde.