一种太阳电池正面电极的制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳电池的正面电极的制备方法，选择材料；扩散；去背节、边节以及硼硅玻璃；在硅片扩散表面沉积钝化膜；制备电池的背极；烧结；激光开槽；制备正电极；退火。本发明通过简化生产步骤，降低电池制作成本的太阳电池正面电极的制作方法；通过使用激光开槽的方式，简化准备流程，并使得表面细栅更细，提高太阳电池的效率。

主权项

一种背结背接触晶体硅太阳电池的硼扩散工艺，其特征在于：其工艺流程的具体步骤为：（a）: 选择电阻率在3‑5Ωcm的N 型硅衬底，少子寿命大于300us；（b）:采用氢氧化钠溶液对N 型单晶硅衬底进行背面抛光，抛光完成后用盐酸和氢氟酸的混合溶液进行清洗；所述的氢氧化钠溶液的浓度范围10%‑30% ；盐酸和氢氟酸混合溶液中，盐酸与氢氟酸配比为1:2.5 ；盐酸和氢氟酸混合溶液的浓度为1.1%；(c):将抛光后的硅片放于扩散炉中，升温至850 ~ 900℃ ，炉内环境为氮气气氛，氮气流量为20 ~ 30L/min；(d):在900~920℃的温度下，通入携带BBr3的氮气，其中携带BBr3的流量为0.1~1L/min，干氧的流量为0.1L/min，氮气流量20 ~30L/min；通源时间为10~30min；(e):停止通入携硼源的氮气，将扩散温度升高到930~ 950℃，炉内环境为氮气气氛，氮气流量20 ~ 30L/min L/min;升温时间控制在1~3min；(f):将扩散温度升高到920~950℃后，再将推结氧化温度升高到930~ 950℃，炉内环境为氮气气氛，氮气流量20 ~ 30L/min，干氧的流量是0.5 ~ 2L/min，推结时间控制在5~15min；(g):推结结束后，炉内环境为氧气气氛，氧化的温度升高到930~ 950℃，氧气流量为15 ~ 30L/min;氧化时间控制在15~25min；（h）：降温出舟，完成扩散过程。