多轴电容式加速度计及加速度检测方法

摘要

本发明提供了一种多轴电容式加速度计及加速度检测方法，所述多轴电容式加速度计的Z轴加速度计的两个Z轴结构层分别放置于XY轴加速度计两侧，该结构可减小封装形变引起的误差，从而提高多轴电容式加速度计的灵敏度。

主权项

一种多轴电容式加速度计，包括基底和XY轴结构层，所述XY轴结构层包括可动质量块、中心锚点、弹性结构以及多个检测电极，所述多个检测电极用于检测X方向和Y方向的加速度，所述可动质量块与所述中心锚点和弹性结构相连，其特征在于，所述多轴电容式加速度计还包括分别位于XY轴结构层两侧的两个Z轴结构层。