弹性波装置

摘要

本发明提供一种弹性波装置，其频率温度系数(TCF)小，插入损耗少，机电耦合系数大，而且可以增大电极指间距。弹性波装置(1)包括：压电体(10)、IDT电极(30)、和覆盖IDT电极(30)的电介质层(20)。电介质层(20)的频率温度系数的符号与压电体(10)相反或相同，频率温度系数的绝对值小于压电体(10)。IDT电极(30)的电极指(31a)、(31b)具有第1电极层(21)和第2电极层(22)。第1电极层(21)位于沟槽(10a)内部；第2电极层(22)位于沟槽(10a)上端面的上侧。第1电极层21的(ρ3×C44)1/2大于第2电极层(22)的(ρ3×C44)1/2。

主权项

一种弹性波装置，其特征在于，包括：压电体，形成有多条沟槽；IDT电极，具有一部分位于所述多条沟槽内的多个电极指；和电介质层，以覆盖所述IDT电极的方式形成在所述压电体上，其频率温度系数的符号与所述压电体的频率温度系数的符号相反或相同，所述电介质层的频率温度系数的绝对值小于所述压电体的频率温度系数的绝对值，所述电极指具有：第1电极层，位于所述沟槽的内部；和第2电极层，形成在所述第1电极层上、位于所述沟槽上端面的上侧，所述第1电极层的平均密度ρa的3次方与平均硬度C44a的乘积的开平方(ρa3×C44a)1/2大于第2电极层的平均密度ρb的3次方与平均硬度C44b的乘积的开平方(ρb3×C44b)1/2。