扫描机台程式控制方法

摘要

本发明涉及半导体技术领域，公开了一扫描机台程式控制方法，包括步骤：定义扫描程式的机台目录及文件位置；控制系统连接至各扫描机台的扫描程式文件位置；控制系统获取扫描程式文件列表信息，并对文件进行解析；提取扫描程式信息，生成扫描程式关键值文件，并存储至控制系统。该方法生成的扫描程式关键值文件包括所有扫描机台、所有扫描程式的所有文件信息，在需要对某些关键值进行查询或提取时，只需将扫描程式关键值文件备份至本地进行搜索或筛选，即可自动生成包括且仅包括所需关键值信息的表格，能够实现对多产品、多半导体层的多扫描机台程式及关键参数值的统一控制，实现所需扫描程式信息的快速、高效查询和提取。

主权项

一种扫描机台程式控制方法，其特征在于，包括步骤：定义扫描程式的机台目录及文件位置；控制系统连接至各扫描机台的扫描程式文件位置；控制系统获取扫描程式文件列表信息，并对文件进行解析；提取扫描程式信息，生成扫描程式关键值文件，并存储至控制系统。