发明名称 |
空心件的等离子体处理 |
摘要 |
本发明涉及一种用于空心件的等离子体处理的装置和方法。本发明尤其适用于小心地等离子体处理热敏空心件如塑料瓶的内表面。等离子体处理例如可以是化学活化、消毒、清理或涂覆。一个或多个空心件被送入处理室以便处理。该处理室与至少一个等离子体源流体连通。处理室的抽排装置与等离子体源相关地在处理室内产生负压,从而等离子体可从等离子体源膨胀到处理室和空心件中。 |
申请公布号 |
CN103649366A |
申请公布日期 |
2014.03.19 |
申请号 |
CN201280032958.8 |
申请日期 |
2012.06.04 |
申请人 |
莱茵豪森等离子有限公司 |
发明人 |
斯蒂芬·内特斯黑姆;达利斯·科塞克 |
分类号 |
C23C16/04(2006.01)I;C23C16/452(2006.01)I;C23C16/515(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 |
代理人 |
胡春光;张颖玲 |
主权项 |
一种用于空心件(50)的等离子体处理的装置,所述装置包括:·用于容纳至少一个待处理的空心件(50)的处理室(20);·至少一个等离子体源(10),其包括能量源(30)以用于产生等离子体(P);·至少一个抽排装置(60),其用于调节该等离子体源(10)和该处理室(20)之间的压差(Δp);其特征在于,·所述至少一个等离子体源(10)设置在该处理室(20)之外;·通过控制单元(33)能够如此控制所述能量源(30),即,能够产生脉动的等离子体(P);和·每个等离子体供应机构(13)分别借助于一个用于等离子体(P2)进流(15)的出口(14)经由各个空心件(50)的开口(52)进入每个空心件(50)。 |
地址 |
德国雷根斯堡 |