| 发明名称 | 一种基于双层膜多晶太阳能电池PECVD钝化镀膜的工艺 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基于双层膜多晶太阳能电池PECVD钝化镀膜的工艺，通过优化PECVD工艺参数，保持与常规工艺相同的折射率和膜厚基础上降低电池表面反射率和增强钝化效果，从而达到提升电池Voc、Isc、FF，即提升Eta的目的。本发明的优点在于只需调整参数，无需增加任何设备和任何工艺步骤和不增加成本，提升转换效率0.14%。 | ||
| 申请公布号 | CN103643222A | 申请公布日期 | 2014.03.19 |
| 申请号 | CN201310694330.0 | 申请日期 | 2013.12.18 |
| 申请人 | 上饶光电高科技有限公司 | 发明人 | 张小明;彭国印;毛振乐;黄治国;王鹏 |
| 分类号 | C23C16/52(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 江西省专利事务所 36100 | 代理人 | 杨志宇 |
| 主权项 | 一种基于双层膜多晶太阳能电池PECVD钝化镀膜的工艺，其特征为：通过优化PECVD工艺参数，保持与常规工艺相同的折射率和膜厚基础上降低电池表面反射率同时增强钝化效果。 | ||
| 地址 | 334100 江西省上饶市上饶经济开发区旭日片区 | ||