等离子体生成用电源装置以及等离子体生成参数设定方法

摘要

本发明提供一种等离子体生成用电源装置，其能够缩短到阻抗匹配为止的时间，能够提高处理效率。该等离子体生成用电源装置具备：基准信号生成部，其生成预定频率的基准信号；功率放大部，其对基准信号进行功率放大而生成高频功率信号；检测部，其检测高频功率信号中包括的行波功率和反射波功率；控制部，其使基准信号的频率发生变化，使功率放大部中的放大率发生变化，其中，进行以下的等离子体生成动作，即在第一时间，进行控制使得将基准信号固定为第一频率而反射波功率成为第一功率值以下，在其后的第二时间，扫描基准信号的频率使得反射波功率成为第二功率值以下，并且进行找出第一频率、第一时间、第二时间的最优值的等离子体生成参数设定动作。

主权项

一种等离子体生成用电源装置，具备：基准信号生成部，其生成预定的频率的基准信号；功率放大部，其对上述基准信号进行功率放大而生成高频功率信号；检测部，其检测上述高频功率信号中包括的行波功率和反射波功率；控制部，其针对上述基准信号生成部使基准信号的频率发生变化，针对上述功率放大部使功率放大率发生变化，其中向设置在外部而生成等离子体的等离子体生成部提供通过上述功率放大部生成的高频功率信号，该等离子体生成用电源装置的特征在于，上述控制部构成为进行以下的等离子体生成动作，即在向上述等离子体生成部提供上述高频功率信号时，在预定的第一时间，进行控制使得将上述基准信号的频率固定为预定的开始频率而上述反射波功率成为预定的第一功率值以下，在经过了上述第一时间后的预定的第二时间，从上述开始频率向预定的目标频率扫描上述基准信号的频率使得上述反射波功率成为预定的第二功率值以下，并且构成为针对上述等离子体生成动作的参数即上述开始频率、上述第一时间、上述第二时间进行等离子体生成参数设定动作，上述等离子体生成参数设定动作构成为进行以下的开始频率设定动作，即在将上述开始频率设定为从预先设定的默认值接近上述目标频率的值，并将上述第一时间和上述第二时间设定为预先设定的默认值的状态下，进行上述等离子体生成动作，找出能够生成等离子体的上述开始频率的更新值而设定为新的开始频率，接着，进行以下的开始频率发送时间设定动作，即在将上述基准信号的频率设定为上述开始频率的更新值，将上述第二时间设定为预先设定的默认值，将上述第一时间设定为从预先设定的默认值缩短了的值的状态下，进行上述等离子体生成动作，找出能够生成等离子体的上述第一时间的更新值而设定为新的第一时间，接着，进行以下的频率扫描时间设定动作，即在将上述基准信号的频率设定为上述开始频率的更新值，将上述第一时间设定为上述第一时间的更新值，将上述第二时间设定为从预先设定的默认值缩短了的值的状态 下，进行上述等离子体生成动作，找出能够生成等离子体的上述第二时间的更新值而设定为新的第二时间。