电涡流位移传感器

摘要

本实用新型公开了一种电涡流位移传感器，包括探头和前置器，探头与前置器连接，探头包括主探头线圈和金属外壳，主探头线圈位于金属外壳围成的空腔内，探头还包括补偿探头线圈、金属挡板和屏蔽金属体，屏蔽金属体位于补偿探头线圈和主探头线圈之间；补偿探头线圈位于由金属外壳、屏蔽金属体以及金属挡板形成的封闭空间内，与金属挡板的相对位置固定；补偿探头线圈和主探头线圈采用相同的材料和绕制方式，并且具有相同的电学参数；前置器包括差分减法电路，差分减法电路用于处理主探头线圈的输出信号和补偿探头线圈的输出信号。其有效地抑制了在高精度磁悬浮系统中电涡流位移传感器探头的温漂问题。

主权项

一种电涡流位移传感器，包括探头和前置器，所述探头与所述前置器电连接，所述探头包括主探头线圈和金属外壳，所述主探头线圈位于所述金属外壳围成的空腔内，用于感测被测金属体的位移变化，其特征在于：所述探头还包括补偿探头线圈、金属挡板和屏蔽金属体，所述屏蔽金属体位于所述补偿探头线圈和所述主探头线圈之间；所述补偿探头线圈位于由所述金属外壳、屏蔽金属体以及金属挡板形成的封闭空间内，与所述金属挡板的相对位置固定；所述补偿探头线圈和所述主探头线圈采用相同的材料和绕制方式，并且具有相同的电学参数；所述前置器包括差分减法电路，所述差分减法电路用于处理所述主探头线圈的输出信号和所述补偿探头线圈的输出信号。