发明名称 |
一种提高透射电子显微镜照射样品成功率的方法 |
摘要 |
本发明提出了一种提高透射电子显微镜照射样品成功率的方法,通过取样系统中玻璃针的吸附力提取样品以及破损碳膜,摆放在碳膜上表面完好的区域,重新让透射电子显微镜对样品进行拍照,有效地降低了样品的损坏率,改善了透射电子显微镜对样品照射的成功率,降低了流程的成本。 |
申请公布号 |
CN103645204A |
申请公布日期 |
2014.03.19 |
申请号 |
CN201310597909.5 |
申请日期 |
2013.11.22 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
高林;唐涌耀;陈强;高金德 |
分类号 |
G01N23/225(2006.01)I |
主分类号 |
G01N23/225(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
竺路玲 |
主权项 |
一种提高透射电子显微镜照射样品成功率的方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一碳膜铜网和一样品,所述碳膜铜网包括碳膜和铜网;将所述样品放置在所述碳膜上表面;在所述样品的放置过程中,当所述碳膜破损、所述样品扭曲时,将扭曲的样品连同破损的碳膜重新提取起来,并放置在所述碳膜上表面完好的区域;用透射电子显微镜对所述样品进行拍照。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |