发明名称 一种提高透射电子显微镜照射样品成功率的方法
摘要 本发明提出了一种提高透射电子显微镜照射样品成功率的方法,通过取样系统中玻璃针的吸附力提取样品以及破损碳膜,摆放在碳膜上表面完好的区域,重新让透射电子显微镜对样品进行拍照,有效地降低了样品的损坏率,改善了透射电子显微镜对样品照射的成功率,降低了流程的成本。
申请公布号 CN103645204A 申请公布日期 2014.03.19
申请号 CN201310597909.5 申请日期 2013.11.22
申请人 上海华力微电子有限公司 发明人 高林;唐涌耀;陈强;高金德
分类号 G01N23/225(2006.01)I 主分类号 G01N23/225(2006.01)I
代理机构 上海申新律师事务所 31272 代理人 竺路玲
主权项 一种提高透射电子显微镜照射样品成功率的方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一碳膜铜网和一样品,所述碳膜铜网包括碳膜和铜网;将所述样品放置在所述碳膜上表面;在所述样品的放置过程中,当所述碳膜破损、所述样品扭曲时,将扭曲的样品连同破损的碳膜重新提取起来,并放置在所述碳膜上表面完好的区域;用透射电子显微镜对所述样品进行拍照。
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