用于切割晶棒的可旋转卡具和切割工具

摘要

本实用新型提供一种用于切割晶棒的可旋转卡具，包括：一个套筒，具有中空的内部以容纳至少部分的待加工的晶棒；至少一个第一紧固件，穿过所述套筒紧固所述晶棒；一个套筒支架，支撑所述套筒；至少一个第二紧固件，穿过所述套筒支架紧固所述套筒；一个旋转轴，将所述套筒与所述套筒支架连接并带动所述套筒旋转；以及一个固定座，固定至切割工具。该可旋转卡具使得晶棒能够以任意旋转角度切割，石墨粘接误差消除，加工效率大大提高。

主权项

一种用于切割晶棒的可旋转卡具，其特征在于，该可旋转卡具包括：一个套筒，具有中空的内部以容纳至少部分的待加工的晶棒；至少一个第一紧固件，穿过所述套筒紧固所述晶棒；一个套筒支架，支撑所述套筒；至少一个第二紧固件，穿过所述套筒支架紧固所述套筒；以及一个旋转轴，将所述套筒与所述套筒支架连接并带动所述套筒旋转。